レチクルのアライメント

φ8 mmの小型センサヘッドを3方向に配置し、それぞれの対象物までの距離情報から、位置や角度を正確に算出できます。SI-Fシリーズは、分解能0.001 μmの超高精度で、最大6ヘッドの同時測定ができます。

マイクロヘッド型分光干渉レーザ変位計

SI-F シリーズ