レチクルとウェハのギャップ測定

レチクル越しにウェハまでの距離を捉えて、ギャップを測定します。SI-Fシリーズは、対象物まで約80 mm離して設置可能なヘッドをラインナップ。装置内の部品に干渉すること無く、分解能0.001 μmの超高精度測定を実現します。

マイクロヘッド型分光干渉レーザ変位計

SI-F シリーズ