ウェハ上の水膜の厚み測定

ウェットプロセスにおける、ウェハ上の液体厚みを測定します。SI-Tシリーズは、測定厚みによって複数のセンサヘッドをラインナップ。数ミクロンから1 mm前後まで、幅広い厚みの非接触測定が可能です。

分光干渉変位タイプ多層膜厚測定器

SI-T シリーズ