ビューポート越しウェハの姿勢検出

LK-Gシリーズは、設置距離1 ｍの超ロングレンジセンサヘッドをラインナップ。ビューポート越しに測定が可能で、真空や高温環境下にあるウェハの高さや傾きなどを高精度に検出できます。

高速・高精度CCDレーザ変位計

LK-G3000 シリーズ