石英ガラス越しのウェハ反り測定
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業界:
- 半導体 / 液晶
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商品カテゴリ:
- レーザ変位計 / 3Dセンサ / 寸法測定器
真空や高温環境にあるウェハの反りを、石英ガラス越しに測定します。CLシリーズは小型ヘッドのため、ビューポートのある限られたスペースへの取り付けが可能です。また、あらゆる表面状態の対象物を測定できます。
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真空や高温環境にあるウェハの反りを、石英ガラス越しに測定します。CLシリーズは小型ヘッドのため、ビューポートのある限られたスペースへの取り付けが可能です。また、あらゆる表面状態の対象物を測定できます。
