静電チャックの突起高さ・平面度測定
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業界:
- 半導体 / 液晶
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商品カテゴリ:
- レーザ変位計 / 3Dセンサ / 寸法測定器
複数のセンサヘッドによる高さ測定データをコントローラで演算し、平面度測定をおこないます。なお、CLシリーズはセンサヘッド内部に電気部品のない、「発熱ゼロ」構造。装置に温度変化を与える懸念が無く、安定した測定が可能です。
業界:
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複数のセンサヘッドによる高さ測定データをコントローラで演算し、平面度測定をおこないます。なお、CLシリーズはセンサヘッド内部に電気部品のない、「発熱ゼロ」構造。装置に温度変化を与える懸念が無く、安定した測定が可能です。
