ウェハ搬送時振動測定

SI-Fシリーズはφ2 mmのマイクロヘッドをラインナップし、設置上の制約が大幅に低減します。さらにヘッド内部の電子部品を完全排除したことで高温環境や真空環境など、従来はできなかった測定にも対応した実績が多数あります。

マイクロヘッド型分光干渉レーザ変位計

SI-F シリーズ