アニール装置のZ軸位置決め

レーザーアニール時のウエハ高さを測定します。CLシリーズは小型ヘッドのため、装置内の限られたスペースに設置可能。また同軸測定方式により、対象物までの距離が変動してもスポット位置が変わらず、常に正確な測定を実現します。

マルチカラーレーザ同軸変位計

CL-3000 シリーズ