ウエハ研磨装置の高さ測定

研磨機にセンサヘッドを埋め込むことで、ウェハまでの距離を非接触で測定し、ギャップを高精度に管理します。CLシリーズは同軸測定ができる小型ヘッドなので、省スペースで取り付けができます。

マルチカラーレーザ同軸変位計

CL-3000 シリーズ