研磨パッドの表面形状測定

使用と共に摩耗する研磨パッドの状態確認には、装置から取り外しての測定が必要で、手間や時間が課題でした。CLシリーズの小型センサヘッドなら、装置に直接取り付けて測定が可能。機上で研磨パッドの溝深さなど形状測定が実現できます。

マルチカラーレーザ同軸変位計

CL-3000 シリーズ