ウェハの厚み測定
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業界:
- 半導体 / 液晶
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商品カテゴリ:
- レーザ変位計 / 3Dセンサ / 寸法測定器
研磨を終えたウェハには、極めて高い厚みの平坦性が求められます。SI-Fシリーズは、分解能0.001 μmの超高精度測定が可能。また、光ファイバを用いたセンサヘッドは発熱ゼロで、安定した厚み平坦度測定を実現します。
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研磨を終えたウェハには、極めて高い厚みの平坦性が求められます。SI-Fシリーズは、分解能0.001 μmの超高精度測定が可能。また、光ファイバを用いたセンサヘッドは発熱ゼロで、安定した厚み平坦度測定を実現します。
