ウェハ端面形状測定
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業界:
- 半導体 / 液晶
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商品カテゴリ:
- レーザ変位計 / 3Dセンサ / 寸法測定器
研磨処理後のウェハ端面形状を測定します。LJ-Xシリーズは瞬時に断面形状測定が可能。回転させながらの測定で、ウェハ全周の端面形状検査を実現します。また、最小ピッチ2.5 μmの超高精細測定により、僅かな形状変化も検出できます。
業界:
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研磨処理後のウェハ端面形状を測定します。LJ-Xシリーズは瞬時に断面形状測定が可能。回転させながらの測定で、ウェハ全周の端面形状検査を実現します。また、最小ピッチ2.5 μmの超高精細測定により、僅かな形状変化も検出できます。
