プローバステージの平面度測定

複数のセンサヘッドによる高さ測定値を用いて、ステージの平面度測定をおこないます。SI-Fシリーズのφ8 mm小型センサヘッドは、熱を発生する部分が無いため温度ドリフトなどの誤差が発生せず、極めて正確な測定を実現します。

マイクロヘッド型分光干渉レーザ変位計

SI-F シリーズ