プローバーGAP制御

僅かφ2 mmのマイクロセンサヘッドが、これまで困難だった、装置内の限られたスペースにおける測定を可能にします。また、センサヘッドは内部に電気部品の無い、発熱ゼロ構造。誤差の要因を減らし、安定した測定を実現します。

マイクロヘッド型 分光干渉レーザ変位計

SI-F シリーズ

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