ウエハ画像検査装置のフォーカス合わせ

CLシリーズは、直径わずか8 mmのセンサヘッドをラインナップ。画像検査装置内の限られた設置スペースにも取り付けでき、対象物までの正確な距離測定が可能です。また、同軸測定方式により、距離変化によるスポット位置ズレが発生しません。

マルチカラーレーザ同軸変位計

CL-3000 シリーズ

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