ウエハノッチの位置決め

従来は1次元レーザ変位計でウエハノッチの位置を検出していました。ウェハの薄型化に伴い、反りが大きくなるとスポットが外れる課題が生じています。LJ-Xシリーズならラインレーザのため、ウェハの反りによる位置ずれにも対応できます。

超高精細インラインプロファイル測定器

LJ-X8000 シリーズ