裏面研削装置（バックグラインダー）内でのウェハ厚み測定

SI-Fシリーズは、BGテープを除いたウェハ厚みを非接触で測定できるセンサヘッドをラインナップ。対象物までの設置距離も80 mm離すことが可能で、装置構成の影響を受けにくい場所に設置できます。ウェハ厚みのIn-situ測定を実現します。