裏面研削後ウェハ端部の形状測定

大径ウェハ研削時に、搬送リスクや反りを低減するため、外周部を数mm残して加工する場合があります。LJ-Xシリーズは、この外周部の幅や段差などを瞬時に測定可能。ウェハを回転させながら測定することで、全周の形状検査ができます。

超高精細インラインプロファイル測定器

LJ-X8000 シリーズ