ウエハ貼り合わせ用接着剤の厚み測定

ウェハとサポートガラスを接合するための、接着剤厚みを測定します。SI-Tシリーズは、少ない反射光量でも安定して測定できる高い感度が特長。ガラス越しに接着剤の厚みを非接触測定することができます。

分光干渉変位タイプ多層膜厚測定器

SI-T シリーズ