ウエハ貼り合わせ用サポートガラス高さ測定
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業界:
- 半導体 / 液晶
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商品カテゴリ:
- レーザ変位計 / 3Dセンサ / 寸法測定器
ウェハと接合する際の、サポートガラス高さを測定します。SI-Fシリーズは、φ8 mmの小型センサヘッドをラインナップ、分解能0.01 μmの高精度測定が可能です。また、透明体の表面高さも安定して検出できます。
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ウェハと接合する際の、サポートガラス高さを測定します。SI-Fシリーズは、φ8 mmの小型センサヘッドをラインナップ、分解能0.01 μmの高精度測定が可能です。また、透明体の表面高さも安定して検出できます。
