ウエハのハーフカット時倣い制御

ウェハ分割時の裏面チッピングを軽減させるためにおこなうハーフカットは、カット深さ制御が重要です。SI-Fシリーズのφ8 mmセンサヘッドなら、装置内にも取り付け可能。分解能0.01 μmの高精度測定で、正確な倣い制御を実現します。