ウエハダイシング用ドレッシングプレートの厚み測定

ダイシング品質の安定とブレードの切れ味を保つドレッシングプレートの厚み管理をおこないます。クアッド処理システムを搭載したCLシリーズなら、表面が粗い対象物の測定も、安定しておこなうことが可能です。

マルチカラーレーザ同軸変位計

CL-3000 シリーズ