ウエハのハーフカット深さ測定

従来のような測定顕微鏡を用いた検査は、人によるバラつきや、検査に時間がかかることが課題でした。独自方式により、面で一括測定ができるWIシリーズなら、非接触で誤差なく、瞬時に測定が可能です。

白色干渉3D変位計

WI-5000 シリーズ