ウエハダイシング装置のZ軸（高さ）調整

ダイシングブレードの高さ調整を非接触でおこないます。CLシリーズは取り付け場所の制約を受けにくい小型ヘッドで、対象物表面の色や光沢の影響を受けにくく、高精度に距離測定が可能です。

マルチカラーレーザ同軸変位計

CL-3000 シリーズ