ウエハダイシングブレードの厚み測定

ダイシングブレードの厚みは通常数十 μmと非常に薄く、加工により刃先が欠損するリスクがあります。定期的なブレードの厚みの測定で、メンテナンス工数を削減できます。CLシリーズは独自の構造により、表面の粗い対象物でも安定測定可能です。

マルチカラーレーザ同軸変位計

CL-3000 シリーズ

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