ウエハダイシング溝の深さ測定

従来はマイクロスコープを使用したオフライン検査で対応していました。人による測定誤差が課題でしたが、WI-5000シリーズは非接触かつトレーサビリティのとれた測定機器として誰でも同じ測定が可能で、信頼性高くご使用いただけます。

白色干渉3D変位計

WI-5000 シリーズ

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