ウェハのバンプ高さ測定

ウエハ上の多数のバンプ検査に測定顕微鏡を用いる方法では、時間を要するだけでなく、作業者の手間やバラつきも課題となりますが、測定範囲内を瞬時に一括検査可能なWIシリーズなら、検査精度の向上と大幅な時間短縮を実現できます。

白色干渉3D変位計

WI-5000 シリーズ