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ワイドレンジかつ高精度に測定できるLJ-Xシリーズなら、複数のチップの浮きや重なりを一度に検査可能です。高さデータを用いて判定するため、正確かつ安定して検査が可能です。
超高精細インラインプロファイル測定器
LJ-X8000 シリーズ
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