ウェハのカセット飛び出し検査

キャリアからの僅かなウェハの飛び出しを検知します。一般的な三角測距センサでは乱反射光の影響を受ける検出も、同軸測定原理であるCLシリーズなら、安定した検査が可能です。

マルチカラーレーザ同軸変位計

CL-3000 シリーズ