ウエハ搬送用ロボットハンドの残留振動検査

ウェハやレチクルなどの搬送において、ローダー停止時の残留振動が収まってから次のプロセスに進むことが重要です。残留振動の有無をレーザ変位計で確認することで、次工程での装置の不具合や加工不良を未然に防ぐことができます。

マルチカラーレーザ同軸変位計

CL-3000 シリーズ