ウエハ搬送用ロボットハンドの位置検査

ロボットハンドの高さや位置が変わるとウェハキャリア内でウェハに衝突するリスクがあり、定期的に検査する必要があります。CLシリーズは同軸測定原理の小型ヘッドのため、入り組んだ装置内の狭いスペースにも設置可能です。

マルチカラーレーザ同軸変位計

CL-3000 シリーズ