ウェハの反り測定
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業界:
- 半導体 / 液晶
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商品カテゴリ:
- レーザ変位計 / 3Dセンサ / 寸法測定器

大径・薄化ウェハは、ロボットハンドで搬送する際の変形や破損を防ぐため、反り量の測定・検査が重要です。CLシリーズは、あらゆる表面状態の対象物に対応可能で、粗面・鏡面・パターン有無などにかかわらず、安定した測定が可能です。
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大径・薄化ウェハは、ロボットハンドで搬送する際の変形や破損を防ぐため、反り量の測定・検査が重要です。CLシリーズは、あらゆる表面状態の対象物に対応可能で、粗面・鏡面・パターン有無などにかかわらず、安定した測定が可能です。