ウェハの反り測定

大径・薄化ウェハは、ロボットハンドで搬送する際の変形や破損を防ぐため、反り量の測定・検査が重要です。CLシリーズは、あらゆる表面状態の対象物に対応可能で、粗面・鏡面・パターン有無などにかかわらず、安定した測定が可能です。

マルチカラーレーザ同軸変位計

CL-3000 シリーズ

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