車載カメラセンサ用セラミックパッケージの平坦度測定

車載カメラに用いられるセンサ用セラミックパッケージの平坦度を測定します。対象物を面で捉えることで、最小二乗法で算出した基準平面に対しての平面度測定ができます。対象物の設置時の傾きによる誤差の影響をキャンセルすることで正確な検査を実現します。