MEMSミラーの傾き検査

MEMSデバイス等に用いられるミラーの平坦度を測定します。完全同軸測定が可能な白色干渉方式を採用したWIシリーズは、鏡面や樹脂などさまざまな対象物を正確に測定できます。

白色干渉3D変位計

WI-5000 シリーズ