圧電素子の平面度測定

自動車用クリアランスソナーセンサ等に用いられる圧電素子の平面度を測定します。3次元形状として対象物を面で捉えることができるため、簡単に最小二乗法で算出した基準平面に対しての平面度測定ができます。

白色干渉3D変位計

WI-5000 シリーズ