SiCウエハの厚み測定

SiCウエハの厚みを測定します。発熱ゼロのセンサヘッド、厚み測定時専用のセンサヘッド固定治具および光軸合わせ機能を搭載したことで、今までにない高精度厚み測定を実現しました。

マルチカラーレーザ同軸変位計

CL-3000 シリーズ