高精度ステージの位置決め

ステージの停止位置を分解能0.001 μmで超高精度に測定できます。SIシリーズは、センサヘッドが発熱しないため、周囲環境へ温度の影響ゼロ、温度ドリフトによる測定誤差ゼロで測定することができました。

マイクロヘッド型分光干渉レーザ変位計

SI-F シリーズ