バックグラインド後ウエハ端部の形状測定

裏面研削を行った後のウエハ端部の形状を測定します。段差・幅、角度など計測ツールを選ぶだけで簡単測定できます。また、3200 point/Profileの超高精細撮像が、従来は困難であった高精度形状測定を実現します。

超高精細インラインプロファイル測定器

LJ-X8000 シリーズ

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