搬送ロボットハンドの位置・振動測定

ウェハの搬送などにおいては、ロボットの停止時の残留振動が収まってから次のプロセスに進むことが重要です。残留振動が収まっているかどうかをレーザ変位計で確認することで、次工程における装置の不具合や加工不良を未然に防止することができます。