ノッチの位置検出

従来は1次元レーザ変位計でノッチの位置を検出していました。ウェハの薄型化に伴い、反りが大きくなるとスポットが外れる課題が生じています。LJVシリーズならラインレーザのため、ウェハの反りによる位置ずれにも対応できます。

超高速インラインプロファイル測定器

LJ-V7000 シリーズ