ウエハのバンプ高さ測定

ウエハ上に形成されたバンプ高さを測定します。白色干渉原理を採用したWIシリーズは、ウエハのような鏡面対象物を含めさまざまな素材・色の対象物を高精度に測定できます。

白色干渉3D変位計

WI-5000 シリーズ