パワー半導体用端子の平面度測定

パワー半導体用端子の平面度を測定します。対象物を面で捉え、最小二乗法で算出した基準平面に対する平面度を測定します。対象物の設置時の傾きによる誤差をキャンセルして、正確な測定が可能です。

超高精細インラインプロファイル測定器

LJ-X8000 シリーズ

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