ウエハへの不良マーク印字

従来の不良マーク印字ではインカーが使用されていましたが、1チップごとに搬送・捺印をおこなうため、印字タクトが長くなっていました。レーザマーカでは、非接触でエリア内の複数チップに印字が可能なため、印字タクトの短縮が可能です。

3-Axis ハイブリッドレーザマーカ

MD-X シリーズ