ウエハテープの切断・剥離・印字

裏面研磨前にウエハ表面保護のために張り付けるウエハテープのカットをおこないます。ウエハテープ剥離前にレーザを照射し接着力を低減させます。ウエハダイシング前にダイシングテープに個体識別用の印字をおこないます。

3-Axis ハイブリッドレーザマーカ

MD-X シリーズ