基板搬送時のＥＳＤ、ＥＳＡ防止

搬送部では基板とコンベアとの接触・剥離により基板が帯電します。大きな帯電は異物付着や静電破壊発生を引き起こし、製造不良へとつながります。除電器を用いることで帯電を除去し、製造不良を低減します。

省エネ・高速センシングイオナイザ

SJ-E シリーズ