ワニス含侵時の滴下ノズル位置確認

ワニスの滴下状態を確認する以外にも、吐出位置のずれや曲がりを検出することもある。吐出ノズルの位置をX-Yで検出することで、装置の原点位置のズレや想定しないトラブルによるノズルの曲がりを検出する。IGシリーズを使用すれば光軸調整が容易。また、2値化レベルが設置できるためほこりの影響に強い。