基板の静電気計測

静電破壊防止のため、静電気発生箇所を特定する。SKシリーズを使用すれば、小型で設置場所を選ばない。通信ユニットを使用すれば温度・湿度の計測も可能で、静電気だけでなく、その時の製造環境も記録することが可能。問題が発生した際に状況を詳細に確認することができる。