基板の除塵

静電破壊防止のため、静電気の発生可能性があるところに設置する。SJシリーズを使用すれば、ICCにより長期的に省メンテナンスで運用できる。除電器の状態は表示灯により一目で確認することができるため「装置についているけど、効いていない」ということを防止できる。