装置投入前基板浮き確認

透過型のメリットである基板の色目の影響を受けずに高さ検知をすることができる。搬送時にオートピークホールド機能を使える装置構造になっていればどんな浮きでも検知することができるため、対応力が高い。

CCD透過型デジタルレーザセンサ

IG シリーズ