セルの厚み測定

各層が非常に薄いため、層数が異なることを確認するには高精度で測定する必要がある。層数が異なるとセルの仕様が変わる可能性がある。0.1 μmの高分解能と1 μmの高精度で確認が可能。小型で設置が容易で長寿命(2億回検出可能)。

高精度接触式デジタルセンサ

GT2 シリーズ